用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。

用于半導體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器 EtherCAT 通信版本。 它符合 SEMI 標準，可以通過 EtherCAT 通信進行控制，該通信用于半導體制造設(shè)備運輸系統(tǒng)中的高速傳輸。

它配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和 Lintec 獨創(chuàng)的環(huán)境溫度補償流量傳感器作為標準配置，并且可以作為選項添加，例如用于液化氣。

北崎供應 lintec琳得科MC-5100C質(zhì)量流量控制器EtherCAT 質(zhì)量流量控制器         MC-5000C

長處

選擇

  • 微流量 F.S.
  • 與液化氣兼容
  • 寬

使用示例

EtherCAT 通信設(shè)備的統(tǒng)一通信

越來越多的半導體制造設(shè)備配備了 EtherCAT 通信（數(shù)字 I/F），用于對機器人手臂等運輸系統(tǒng)進行高速控制。 EtherCAT 通信有 65,536 個節(jié)點，MFC 的所有測量和運動元件都可以通過 EtherCAT 通信統(tǒng)一。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *壓差 精度 控制范圍 *低 F.S. 馬克斯 FS 密封
15~35°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*滿量程 10單片機CM 300 升 金

* 規(guī)格表是具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過 options 進行更改。