XTRAIA XD-3300

在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具

用于毛毯和圖案化晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3300 是一款多用途 X 射線計(jì)量工具，可在大規(guī)模生產(chǎn)中以高通量對(duì)橡皮和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無(wú)損分析。

測(cè)量結(jié)果包括 X 射線反射 （XRR） 的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD） 的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格松弛和結(jié)晶度。

詢(xún)價(jià)詢(xún)問(wèn)有關(guān)產(chǎn)品的問(wèn)題

• 結(jié)

• 長(zhǎng)處

• 規(guī)范

• 事件

北崎9年，日本會(huì)社20年

優(yōu)勢(shì)：

1、以下三大類(lèi)前6項(xiàng)均為日本原廠授權(quán)代理銷(xiāo)售；其它為廠家項(xiàng)目授權(quán)代理銷(xiāo)售；

2、未歸類(lèi)的為我司日本本社向日本原廠直接采購(gòu)，可提供關(guān)單和產(chǎn)地證明。

光源類(lèi)：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計(jì) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設(shè)備 （備庫(kù)銷(xiāo)售）

3、CCS晰寫(xiě)速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽(yáng)照明燈

6、POLARION普拉瑞——強(qiáng)光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫(kù)銷(xiāo)售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強(qiáng)光燈

10、YAMADA依夢(mèng)達(dá)——光源 （備庫(kù)銷(xiāo)售）

儀器儀表類(lèi)：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測(cè)儀  

2、TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)——粘度計(jì)

3、SONIC索尼克——超聲波風(fēng)速儀、氣體及液體流量計(jì) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對(duì)

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風(fēng)棒

6、SUGIYAMA杉山電機(jī)——下死點(diǎn)檢測(cè)儀、誤送檢測(cè)裝置 （備庫(kù)銷(xiāo)售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計(jì)、氧氣分析儀、濃度計(jì)

8、TORAY東麗——?dú)怏w分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計(jì)、輝度計(jì)、照度計(jì)  （備庫(kù)銷(xiāo)售）

11、KYOWA共和——應(yīng)變儀、應(yīng)變片、傳感器  （部份備庫(kù)銷(xiāo)售）

12、USHIO牛尾——照度計(jì) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

13、ORC歐阿?！斩扔?jì) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

14、AND愛(ài)安德——水分計(jì)、天平、粘度計(jì) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

15、YASKAWA安川——磁性開(kāi)關(guān) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫(kù)銷(xiāo)售）

17、EXCEL——聽(tīng)音機(jī) （備庫(kù)銷(xiāo)售）

小設(shè)備類(lèi)：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設(shè)備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫(kù)銷(xiāo)售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機(jī)、鋼印機(jī)

4、MUSASHI武藏——點(diǎn)膠機(jī)

5、KAIJO凱捷——清洗機(jī)

6、TSUBOSAKA壺坂——對(duì)比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機(jī)

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺(tái)、高速直驅(qū)電機(jī)

10、OTSUKAEL大塚——光學(xué)膜厚儀、粒度儀

專(zhuān)注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）