LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100D
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100D
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制,故不受溫度及壓力的影響,可*地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由
質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的,Ru、Rd與 R 保持一定的溫度,當(dāng)氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
內(nèi)置微處理器提高處理效能微處理器記錄質(zhì)量流量控制需各部的輸入及輸出變化。以對比方式斷有異常狀況時,會提出警告。利陽自動化流量校正以及需點校正技術(shù),提供高度質(zhì)量穩(wěn)定的產(chǎn)品,控制閥采用隔膜閥,閉死容積極小
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
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