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現(xiàn)貨EBARA荏原干式真空泵EV-S20P/N
干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體,無需液體介質(zhì),避免油污染問題。其核心結(jié)構(gòu)類型包括:
螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu):一對等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子,通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計形成密閉腔體,實現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13。
間隙控制:螺桿與泵腔保持微米級間隙,減少摩擦損耗,支持高轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)(可達6000 rpm),提升抽氣效率。
?多級羅茨式??多級串聯(lián)設(shè)計?:采用多級羅茨葉片轉(zhuǎn)子,通過逐級壓縮提高極限真空度(可達10?2 Pa),適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。
?無接觸嚙合?:轉(zhuǎn)子間無物理接觸,通過同步齒輪驅(qū)動,降低磨損并延長使用壽命。
渦旋式動靜渦旋盤嚙合:通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔,實現(xiàn)無油、低振動運行,極限真空度達10?1 Pa,適用于實驗室和小型設(shè)備。
二、性能優(yōu)勢與創(chuàng)新技術(shù)
?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)(如陶瓷涂層、不銹鋼材質(zhì)),防止?jié)櫥瓦M入泵腔,確保半導(dǎo)體制造、食品加工等場景的潔凈度?34。
特殊防腐處理(如鍍鎳或PTFE涂層)的泵體,耐受酸性氣體(如Cl?、H?S)和有機溶劑。
智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng),根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)電機功率,能耗降低20%以上。
傳感器實時監(jiān)測溫度、振動等參數(shù),結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實現(xiàn)遠程故障預(yù)警和維護提示。
模塊化與擴展性支持多級串聯(lián)或并聯(lián),抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h,可適配不同真空需求(如半導(dǎo)體前級泵需搭配分子泵使用)。
快速拆卸設(shè)計,更換核心部件(如轉(zhuǎn)子、密封件)耗時縮短至2小時內(nèi),減少停機損失。