可確保精度范圍在±1%S.P.（設(shè)定值）的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器。

搭配LINTEC獨(dú)創(chuàng)的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化，可以對(duì)臭氧等高度可降解的氣體進(jìn)行流量控制。

可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實(shí)裝和接頭名稱。

高性能數(shù)字通訊MFC

特點(diǎn)

• 精度范圍±1%S.P.

• 使用溫度5~50℃

• 金屬密封件

• 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• 周圍溫度補(bǔ)償式傳感器

• RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

• 小流量F.S.

• 液化氣體

• 大流量范圍

使用范例

半導(dǎo)體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD（化學(xué)氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應(yīng)規(guī)格。

分析設(shè)備

分析設(shè)備可能需要控制極小流量，但一般質(zhì)量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無(wú)法對(duì)應(yīng)。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配死體積較小的隔膜閥。

詳情請(qǐng)致電或郵件咨詢。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

北崎9年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

北崎優(yōu)勢(shì)：

1、以下三大類前6項(xiàng)均為日本原廠授權(quán)代理銷售；其它為廠家項(xiàng)目授權(quán)代理銷售；

2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購(gòu)，可提供關(guān)單和產(chǎn)地證明。

光源類：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計(jì) （備庫(kù)銷售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設(shè)備 （備庫(kù)銷售）

3、CCS晰寫(xiě)速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽(yáng)照明燈

6、POLARION普拉瑞——強(qiáng)光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫(kù)銷售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強(qiáng)光燈

10、YAMADA依夢(mèng)達(dá)——光源 （備庫(kù)銷售）

儀器儀表類：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測(cè)儀  

2、TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)——粘度計(jì)

3、SONIC索尼克——超聲波風(fēng)速儀、氣體及液體流量計(jì) （備庫(kù)銷售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對(duì)

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風(fēng)棒

6、SUGIYAMA杉山電機(jī)——下死點(diǎn)檢測(cè)儀、誤送檢測(cè)裝置 （備庫(kù)銷售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計(jì)、氧氣分析儀、濃度計(jì)

8、TORAY東麗——?dú)怏w分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計(jì)、輝度計(jì)、照度計(jì)  （備庫(kù)銷售）

11、KYOWA共和——應(yīng)變儀、應(yīng)變片、傳感器  （部份備庫(kù)銷售）

12、USHIO牛尾——照度計(jì) （備庫(kù)銷售）

13、ORC歐阿?！斩扔?jì) （備庫(kù)銷售）

14、AND愛(ài)安德——水分計(jì)、天平、粘度計(jì) （備庫(kù)銷售）

15、YASKAWA安川——磁性開(kāi)關(guān) （備庫(kù)銷售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫(kù)銷售）

17、EXCEL——聽(tīng)音機(jī) （備庫(kù)銷售）

小設(shè)備類：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設(shè)備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫(kù)銷售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機(jī)、鋼印機(jī)

4、MUSASHI武藏——點(diǎn)膠機(jī)

5、KAIJO凱捷——清洗機(jī)

6、TSUBOSAKA壺坂——對(duì)比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機(jī)

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺(tái)、高速直驅(qū)電機(jī)

10、OTSUKAEL大塚——光學(xué)膜厚儀、粒度儀

LINTEC林泰克可確保精度范圍...

LINTEC林泰克使用溫度5-5...