LINTEC林泰克LM-3212L液體氣化的流量控制液體質(zhì)量流量控制器
液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點
液體質(zhì)量流量控制器的原理
液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動控制裝置，液體質(zhì)量流量計是測量液體質(zhì)量流量的裝置。
質(zhì)量流量控制器的流量控制原理是利用熱容的質(zhì)量流量測量原理和流量控制閥的PID控制，通過調(diào)節(jié)開度來自動控制質(zhì)量流量。
液體質(zhì)量流量控制器特點[LINTEC]
LINTEC的液體MFC/MFM（質(zhì)量流量控制器）對應(yīng)半導體行業(yè)對TEOS等液體汽化供應(yīng)技術(shù)的需求，提供*于世界的液體質(zhì)量流量控制技術(shù)。
液體質(zhì)量流量控制
液體流量測量對象包括體積流量和流速，從精度と穩(wěn)定性的角度來看，微小流量的液體質(zhì)量流量控制已成為半導體成膜工藝中不可或缺的技術(shù)。
高精度
在半導體制造過程中，薄膜是通過蒸發(fā)TEOS（原硅酸四乙酯）等液體源來形成的，它比氣體更便宜且更易操控。在制造過程中，供應(yīng)量較大，*原材料往往采用低蒸氣壓材料。 在傳統(tǒng)的氣體MFC烘烤法烘焙法中，供給量和耐熱溫度成為瓶頸，因此誕生了溫度限制少且供給量大的直接氣化法。然而，在直接汽化法中，由于反應(yīng)氣體的流量是在液相中控制的，因此即使很小的誤差也會嚴重影響反應(yīng)。
以H2O為例，如果1ml液相在0℃理想條件下汽化，則會膨脹至1,244ml。由此可見，對微小流量進行高精度的流量控制、汽化并使其反應(yīng)，已成為半導體制造設(shè)備中不可或缺的技術(shù)。
穩(wěn)定性
液體流量計使用范例
1ml/min以下的流量控制裝置中包括計量泵，計量泵由于連續(xù)的機械切換操作而產(chǎn)生脈動。 沒有機械切換的注射泵不會產(chǎn)生脈動，但泵的容積有限，不適合連續(xù)供給。
另外，當通過控制流量將液體引入真空裝置時，由于計量泵存在壓差，無法得到穩(wěn)定的流量。
液體MFC的流量控制是將氣體等加壓至恒壓的液體引入液體質(zhì)量流量控制器，用內(nèi)部流量傳感器檢測瞬時流量，不斷控制閥門開度，即使二次壓力減壓或在大氣壓下也可實現(xiàn)恒定流量控制。
液體MFC/MFM相關(guān)產(chǎn)品
液體MFM（質(zhì)量流量計）
高性能液體MFM（質(zhì)量流量計）
特點：微流量液體測量，PID控制信號（帶汽化器和CV設(shè)定），金屬密封件，無塵
選配規(guī)格：高溫兼容
液體MFC（質(zhì)量流量控制器）
高性能液體MFC（質(zhì)量流量控制器）
特點：微流量液體控制，金屬密封件，無塵
科里奧利液體MFC（質(zhì)量流量控制器）
特點：無需CF、大流量液體控制、無塵
應(yīng)用質(zhì)量流量控制器技術(shù)的其他產(chǎn)品
液體控制閥【CV-1000】
特點：比例電磁閥，金屬密封件，無塵
高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)量流量計LM-3000L
搭載微小流量液體傳感器并內(nèi)置PID控制器的高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)流控制器。
LM-3000L系列搭載高性能液體流量傳感器，可對C2H5OH換算滿量程0.1g/min～20g/min實現(xiàn)高度的流量測量。
由于它具有內(nèi)置PID控制器，因此可以通過與LINTEC的閥門搭載產(chǎn)品（汽化器，控制閥）結(jié)合使用來控制液體的流量。
LM-3000L
特點
微小流量的液體測量
液體氣化的流量控制
精度范圍±1%F.S.
金屬密封件
無塵生產(chǎn)（粒子標準監(jiān)控）
RS-485數(shù)字通訊接口
選配規(guī)格
耐高溫
無菌蒸汽（SPI）處理
使用范例
液體汽化流量控制
通過將液體質(zhì)量流量計（LM-3000L）與LINTEC內(nèi)置控制閥的汽化器（VU）相結(jié)合，可以控制在汽化室之前引入汽化器的流量。因此，實現(xiàn)了應(yīng)答速度快的汽化流量控制，且不受汽化器熱量的影響。
液體流量控制
通過將LINTEC的控制閥（CV-1000）與帶有內(nèi)置PID控制器的液體質(zhì)量流量計（LM-3000L）相結(jié)合，可以用作液體質(zhì)量流量控制器。
規(guī)格表
| 型號 | 溫度 | 所需壓差 | 精度 | *小F.S. | *F.S. |
| LM-3112L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | 0.1g/min | 1.0g/min |
| LM-3212L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | ~6.0g/min | |
| LM-3712L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±2%F.S. | ~30g/min |
※此表僅表示一般規(guī)格的液體用MFM。 根據(jù)選配規(guī)格變化。
※F.S.根據(jù)液體種類不同而變化。詳細請咨詢LINTEC。
