渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施中。該泵通過(guò)高速移動(dòng)分子來(lái)高效地生成真空。
渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定的定子組成。轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，將分子加速向排氣口，從而產(chǎn)生真空。這個(gè)過(guò)程利用了分子的動(dòng)能，非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有極高的排氣速度，能夠快速建立真空環(huán)境。此外，由于不使用油，它能提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作。渦輪分子泵還具有從低真空到高真空的廣泛適用性，被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)和研究領(lǐng)域。